ウエハサイズ: 6" | チェンバー: 1+1c/h (1cvd + 1etch)
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: 4c/h（マイクロ波タイプ）
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: SACVDデルタTEOS 3ch、SPUTTER 1ch
ウエハサイズ: 12" | プロセス: オキシド | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 12" | プロセス: オキシド | チェンバー: 4C/H
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: 2C/H
マサチューセッツ, アメリカ
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