
2004 ADE、Ultrascan9300、ウェハー・ソーター
- メーカー: ADE
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハーソーター | 装置: ウェハーソーター | 記述: ウェハ200mm
スウォン市, 南韓国
2014 エコー技研、PCS-FCS、ウエハ450mm
- メーカー: Echo Giken
シリアルno.: 制御システム | 数量: 1 | 設備詳細: PCS-FCS(プロセス制御システム-工場制御システム) | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
ラムリサーチ、Rainbow4420、プラズマクリーナー
- メーカー: Lam Research - Novellus
- 型番: RAINBOW 4420
シリアルno.: 1012001 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマクリーナー | 装置: プラズマクリーナー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
KLA TENCOR, P-10, 表面形状測定器 (Windows DOS)
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: P-10
シリアルno.: 03970318 | 数量: 1 | 設備詳細: 表面形状測定器(Windows DOS) | 装置: 表面形状計 | 記述: ウィンドウズDOS
スウォン市, 南韓国
2003年 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2005 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: AMS101 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2003年KLA、Sp3、パーティクルカウンター
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: SP3
シリアルno.: 45120310476 | 数量: 1 | 設備詳細: パーティクルカウンター | 装置: パーティクルカウンター | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
Hスクエア、AVTkit8-007、EPIウェハ搬送
- メーカー: H-Square
シリアルno.: 519 | 数量: 1 | 設備詳細: EPIウェハー・トランスファー | 装置: EPIウェハー・トランスファー
スウォン市, 南韓国
2014 Veeco、Dektak6M、アルファステップ
- メーカー: Veeco - Sloan
- 型番: Dektak
シリアルno.: 24278 | 数量: 1 | 設備詳細: アルファ・ステップ | 装置: アルファ・ステップ | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
KLA TENCOR, P-15, サーフェスプロファイラ (windows NT)
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: P-15
シリアルno.: 0704120887 | 数量: 1 | 設備詳細: サーフェスプロファイラ(ウィンドウズNT) | 装置: サーフェスプロファイラ | 記述: ウィンドウズNT
スウォン市, 南韓国
2013 LG PRI、TWI-450-3S、ウェーハ搬送
- メーカー: LG PRI
数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・トランスファー | 装置: ウェハー・トランスファー | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
オリオン機械、PAP20A1-FKW-JSP、精密空気処理装置
- メーカー: ORION Machinery
シリアルno.: 1304006 | 数量: 1 | 設備詳細: 精密空気処理装置(チラー) | 装置: 精密空気処理装置(チラー) | 記述: 温度18~30℃、湿度40~65
スウォン市, 南韓国
MTOPS、HP330D、ホットプレート
- メーカー: MTOPS
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ホットプレート | 装置: ホットプレート | 記述: 温度範囲 ~350℃、精度 ±1
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韓国AI、CTC-B、APプラズマ電源
- メーカー: AI KOREA
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: APプラズマ電源 | 装置: APプラズマ電源 | 記述: サイズ270x340x140mm、220V、2A
スウォン市, 南韓国

