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京畿道, 南韓国
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Anseong-si, 南韓国
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ウェットステーション（ウェットベンチ）は、部品やウエハーの化学洗浄、エッチング、すすぎなどを行うベンチ型またはモジュール式の装置です。タンク、ポンプ、ろ過、加熱、排気を備え、液体や危険薬液を安全に扱えます。電子、めっき、半導体分野で使われ、材質耐性や処理能力、オートメーションにより選定が重要です。
タンク材質の薬品耐性、タンクやシールの状態、ポンプやバルブの動作、ろ過・加熱・排気の状態、安全インターロックの有無、保守履歴と薬液使用履歴を確認してください。
薬液は排出・中和して表面を除染し、可動部や壊れやすい部品を固定または取り外し、配管を封止します。ラボ機器に慣れた輸送業者を使い、必要な許可や保険を確認してください。
電源、DI/RO水、薬液供給ライン、排水、十分な換気を用意してください。ポンプ・フィルター・ヒーター点検、シール交換、腐食検査、安全装置の試験を定期的に行いましょう。