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ウエハサイズ: 12" | プロセス: CVD | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 12" | プロセス: オキシド | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: 2C/H
ウエハサイズ: 8" | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 12" | プロセス: オキシド | チェンバー: 4C/H