機器名称: マスフローコントローラー(MFC)
機器名称: チューブ炉 | 備考: チューブに破損あり
機器名称: ドライポンプ | 備考: 13台あり
機器名称: ドライポンプ
機器名称: RF電源
機器名称: バレル型アッシャー
機器名称: 超音波ウェルダー
機器名称: ソーラーセルスキャナー
機器名称: マスフローコントローラー