機器名称: マスフローコントローラー(MFC)
機器名称: ターボ分子ポンプ(TMP) | 製造no: 1368
機器名称: ターボ分子ポンプ(TMP) | 製造no: 15024
機器名称: 縦型熱処理炉(酸化炉)
機器名称: 極低温冷凍機 77K GM冷凍機
稼働時間: 2476H | 仕様: フォワーダ.600R,CNP
稼働時間: 1226H