機器名称: ドライポンプ
機器名称: RF電源
機器名称: DC電源
機器名称: イオンマイグレーション評価システム
機器名称: クライオポンプ | 製造no: 0707518
機器名称: ターボ分子ポンプ(TMP)
機器名称: マスフローコントローラー(MFC)