機器名称: マスフローコントローラー
機器名称: チューブ炉 | 備考: チューブに破損あり
機器名称: ドライポンプ | 備考: 13台あり
機器名称: イオンマイグレーション評価システム
機器名称: クライオポンプ | 製造no: 0707518
機器名称: ターボ分子ポンプ(TMP)
機器名称: マスフローコントローラー(MFC)