機器名称: ドライポンプ
機器名称: RF電源
機器名称: DC電源
機器名称: データロガー
機器名称: チューブ炉 | 備考: チューブに破損あり
機器名称: ドライポンプ | 備考: 13台あり
機器名称: マスフローコントローラー
機器名称: バレル型アッシャー