機器名称: マイグレーション装置
機器名称: ドライポンプ
機器名称: RF電源
機器名称: DC電源
機器名称: マスフローコントローラー
機器名称: カーボンコーター
機器名称: クライオコンプレッサー
機器名称: クライオポンプ
機器名称: ターボ分子ポンプ(TMP)
機器名称: 窒素ガス発生装置