工程: エッチャー | インチ: 8
工程: エッチャー | インチ: 2~6 | 備考欄: 故障有
工程: エッチャー | インチ: 6、8
工程: 成膜 | インチ: 角基板 | 備考欄: 通常使用
工程: 成膜 | インチ: 角基板 | 備考欄: 特殊仕様(基板ホルダー)
工程: 成膜 | インチ: 6
工程: 成膜 | インチ: 3 | 備考欄: 新古品
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 8
工程: 組立
工程: 組立 | 備考欄: 左⇒右(手前固定)
工程: 組立 | インチ: 6,8,12 | 備考欄: 半自動,水銀ランプ,故障修理必
工程: 組立 | 備考欄: ゾーン 5,320℃,ピンチェーン
工程: 組立 | インチ: 8,12 | 備考欄: 8 & 12切替治具あり