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スウォン市, 南韓国
2014 SVS, MSX1000, トラック
- メーカー: SVS
シリアルno.: THELEDS06FO3 | 数量: 1 | 設備詳細: トラック | 装置: トラック | 記述: ウェハー・サイズ 4" 6" 8"
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2003 TEL、クリーントラックMark7、PR TRACK
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PRトラック | 装置: PRトラック | 記述: ウェハ6～8インチ
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PSK、エコライトII T、アッシャー/デスカム（シングルチャンバー）
- メーカー: PSK
シリアルno.: PEK13007 | 数量: 1 | 設備詳細: アッシャー／デスカム（シングルチャンバー） | 装置: アッシャー／デスカム（シングルチャンバー）
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2013年 オックスフォード、プラズマラボSystem100、PECVD & ICP380
- メーカー: Oxford
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD & ICP380 | 装置: ICP PECVD | 記述: 415V、50Hz
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2009年 EVG、EVG810LT、低温プラズマ活性化システム
- メーカー: EVG
シリアルno.: S090007 | 数量: 1 | 設備詳細: 低温プラズマ活性化システム | 装置: 低温プラズマ活性化システム | 記述: ウェハ50-200、100-300mm
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2013年 ブルカー、コンターSP、床置き型3D光学式プロフィロメータ
- メーカー: Bruker
シリアルno.: CSP-13-0103 | 数量: 1 | 設備詳細: 床置き型3D光学式プロフィロメータ | 装置: 床置き型3D光学式プロフィロメータ
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Bruker、Contour SP、床置き型3D光学顕微鏡
- メーカー: Bruker
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 床置き型3D光学式プロフィロメータ | 装置: 床置き型3D光学式プロフィロメータ
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2003年 ATTO、FA-2000、ガスキャビネット
- メーカー: ATTO
シリアルno.: GC-SS-03022 | 数量: 1 | 設備詳細: ガスキャビネット | 装置: ガスキャビネット | 記述: ガス名 C4F8
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2015 GAON TECH, GAON-VGP-A22, ガスキャビネット
- メーカー: GAON TECH
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ガスキャビネット | 装置: ガスキャビネット | 記述: ガス名 PH3, B2H6
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2009年 KCテック、SAFEGAS-70、ガスキャビネット
- メーカー: KC Tech
シリアルno.: KCTG-0909-053 | 数量: 1 | 設備詳細: ガスキャビネット | 装置: ガスキャビネット | 記述: ガス名 N2O、O2、CF4
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2011 Ajeon Heating Industrial, 横型管状炉, 電気炉...
- メーカー: Ajeon Heating Industrial
シリアルno.: D-11-F30/1 | 数量: 1 | 設備詳細: 電気炉 | 装置: 電気炉 | 記述: 寸法 1600x700x1550mm
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2012 Top Technology Limited, FABStar-ICP-6, ICPシステム
- メーカー: Top Technology Limited
シリアルno.: 2012-001 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPシステム | 装置: ICPシステム | 記述: N/A
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