工程: 検査 | 備考欄: EDX、EBIC付き
インチ: 6
工程: 成膜 | インチ: 4 | 備考欄: アルミナ
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: RP仕様
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: HTO
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: BPSG
工程: 成膜 | インチ: 6,8 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 4
工程: フォトリソ | インチ: 8 | 備考欄: 2C2D
工程: フォトリソ | インチ: 3
工程: フォトリソ | インチ: 6,8 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ
工程: 組立
工程: 組立 | 備考欄: 左⇒右(手前固定)