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スウォン市, 南韓国
2014 SVS, MSX1000, トラック
- メーカー: SVS
シリアルno.: THELEDS06FO3 | 数量: 1 | 設備詳細: トラック | 装置: トラック | 記述: ウェハー・サイズ 4" 6" 8"
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2003 TEL、クリーントラックMark7、PR TRACK
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PRトラック | 装置: PRトラック | 記述: ウェハ6～8インチ
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PSK、エコライトII T、アッシャー/デスカム（シングルチャンバー）
- メーカー: PSK
シリアルno.: PEK13007 | 数量: 1 | 設備詳細: アッシャー／デスカム（シングルチャンバー） | 装置: アッシャー／デスカム（シングルチャンバー）
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2013年 オックスフォード、プラズマラボSystem100、PECVD & ICP380
- メーカー: Oxford
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD & ICP380 | 装置: ICP PECVD | 記述: 415V、50Hz
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2009年 EVG、EVG810LT、低温プラズマ活性化システム
- メーカー: EVG
シリアルno.: S090007 | 数量: 1 | 設備詳細: 低温プラズマ活性化システム | 装置: 低温プラズマ活性化システム | 記述: ウェハ50-200、100-300mm
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2013 セシンテック、FPスラリー供給システム
- メーカー: Seshin Tech
シリアルno.: STS304 | 数量: 1 | 設備詳細: FPスラリー供給システム | 装置: FPスラリー供給システム | 記述: N/A
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2020 ASM、PS410、ダイプローバー
- メーカー: ASM
シリアルno.: PS410-344407-0048 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイ・プローバー | 装置: ダイ・プローバー | 記述: N/A
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2013年 ブルカー、コンターSP、床置き型3D光学式プロフィロメータ
- メーカー: Bruker
シリアルno.: CSP-13-0101 | 数量: 1 | 設備詳細: 床置き型3D光学式プロフィロメータ | 装置: 床置き型3D光学式プロフィロメータ
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2013年 ブルカー、コンターSP、床置き型3D光学式プロフィロメータ
- メーカー: Bruker
シリアルno.: CSP-13-0104 | 数量: 1 | 設備詳細: 床置き型3D光学式プロフィロメータ | 装置: 床置き型3D光学式プロフィロメータ
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2007 Air Products、511-5001604、ガスキャビネット
- メーカー: Air Products and Chemicals
シリアルno.: R14874 | 数量: 1 | 設備詳細: ガスキャビネット | 装置: ガスキャビネット | 記述: ガス名 NH3
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2015 GAON TECH、GAON-15-04-D、ガスキャビネット
- メーカー: GAON TECH
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ガスキャビネット | 装置: ガスキャビネット | 記述: ガス名 SiH4
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