工程: 洗浄 | 備考欄: ウェーハ・ジェット・スクラバー
工程: 洗浄 | インチ: 6
工程: 洗浄 | インチ: 6 | 備考欄: 未使用品
インチ: 6
工程: エッチャー | インチ: 6 | 備考欄: 6 tanks
工程: 成膜 | インチ: 角基板 | 備考欄: 通常使用
工程: 成膜 | インチ: 角基板 | 備考欄: 特殊仕様(基板ホルダー)
工程: 成膜 | インチ: 6
工程: 成膜 | インチ: 4 | 備考欄: ITO
工程: 成膜
工程: 成膜 | インチ: 6,8 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 8
工程: フォトリソ | インチ: 3,4
工程: フォトリソ | インチ: 6