ウエハサイズ: 8" | チェンバー: SACVDデルタTEOS 3ch、SPUTTER 1ch
ウエハサイズ: 8" | プロセス: スパッタ | 出荷: EXW
ウエハサイズ: 8" | プロセス: デルタテオス3ch、SPUTTER 1ch | 出荷: EXW