
GEN-SYS, GMSpin300, スピンコーター
- メーカー: GEN-SYS
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: スピンコーター | 装置: スピンコーター | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
サス・ミロテック、ラボスピン、スピンコーター
- メーカー: SÜSS MicroTec
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: スピンコーター | 装置: スピンコーター | 記述: ウェハ 150~200mm
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
2003年 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm | Stock: 平坦度測定
スウォン市, 南韓国
2005 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: AMS101 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2003年KLA、Sp3、パーティクルカウンター
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: SP3
シリアルno.: 45120310476 | 数量: 1 | 設備詳細: パーティクルカウンター | 装置: パーティクルカウンター | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
2013 LG PRI、TWI-450-3S、ウェーハ搬送
- メーカー: LG PRI
数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・トランスファー | 装置: ウェハー・トランスファー | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
Hスクエア、AVTkit8-007、EPIウェハ搬送
- メーカー: H-Square
シリアルno.: 519 | 数量: 1 | 設備詳細: EPIウェハー・トランスファー | 装置: EPIウェハー・トランスファー
スウォン市, 南韓国
2014 Veeco、Dektak6M、アルファステップ
- メーカー: Veeco - Sloan
- 型番: Dektak
シリアルno.: 24278 | 数量: 1 | 設備詳細: アルファ・ステップ | 装置: アルファ・ステップ | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
KLA TENCOR, P-15, サーフェスプロファイラ (windows NT)
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: P-15
シリアルno.: 0704120887 | 数量: 1 | 設備詳細: サーフェスプロファイラ(ウィンドウズNT) | 装置: サーフェスプロファイラ | 記述: ウィンドウズNT
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
1999 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: AMS069 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2013 KLA, PHXDF5.0, Wafersight3
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: 48130711333 | 数量: 1 | 設備詳細: Wafersight3 | 装置: Wafersight3 | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
VEECO、DEKTAK6M、サーフェスプロファイラ
- メーカー: Veeco - Sloan
- 型番: Dektak
シリアルno.: 34542 | 数量: 1 | 設備詳細: サーフェスプロファイラ | 装置: サーフェスプロファイラ | 記述: スキャン長50㎛~30mm、ウェーハ直径150mm
スウォン市, 南韓国

