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ロサンゼルス, カリフォルニア
ロサンゼルス, カリフォルニア
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エッチングシステムは、化学、プラズマ、湿式エッチングなどのプロセスで基板から材料を除去する産業機器です。PCB、半導体、金属、装飾仕上げ向けに、ベンチトップの湿式エッチャーからインラインのプラズマ/RIEユニットまであり、プロセス制御、排気・ろ過、オートメーションを備えます。中古機選定ではプロセス適合性、処理能力、廃液処理、安全機能、部品供給が重要です。
化学式かプラズマかなどのプロセス適合、チャンバーや治具の状態、シールやポンプの健全性、コントローラ／ソフトの状態、保守記録、排気・ろ過装置、消耗品とスペア部品の入手性を確認してください。過去の処理履歴による汚染の有無も確認しましょう。
薬液は脱塩・中和して排液・残液を完全に抜き、ガス・電源を切断し、危険物履歴を明示します。研究所や半導体装置の輸送経験がある業者を利用し、部品を梱包・固定して保険を掛け、必要な危険物書類を用意してください。
チャンバー清掃、フィルターやポンプの交換、真空シールの点検、ガス配管のリークチェック、コントローラのキャリブレーション、廃液の中和・適切な処分が主要作業です。記録を残し、メーカーの推奨周期に従って消耗品は早めに交換してください。