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中古プラズマエッチング（ドライエッチング）

アルバック、エンバイロ2、マイクロ波アッシャー
- メーカー: Ulvac
- 型番: Enviro
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 電子レンジ | 装置: 電子レンジ | 記述: ウェハ 100~300mm
スウォン市, 南韓国
ULVAC NE-5500
- メーカー: Ulvac
- 型番: NE-5500
工程: エッチャー | インチ: 3
東京都, 日本