中古 半導体

化学式かプラズマかなどのプロセス適合、チャンバーや治具の状態、シールやポンプの健全性、コントローラ／ソフトの状態、保守記録、排気・ろ過装置、消耗品とスペア部品の入手性を確認してください。過去の処理履歴による汚染の有無も確認しましょう。

薬液は脱塩・中和して排液・残液を完全に抜き、ガス・電源を切断し、危険物履歴を明示します。研究所や半導体装置の輸送経験がある業者を利用し、部品を梱包・固定して保険を掛け、必要な危険物書類を用意してください。

チャンバー清掃、フィルターやポンプの交換、真空シールの点検、ガス配管のリークチェック、コントローラのキャリブレーション、廃液の中和・適切な処分が主要作業です。記録を残し、メーカーの推奨周期に従って消耗品は早めに交換してください。