2009年 EVG、EVG810LT、低温プラズマ活性化システム
- メーカー: EVG
シリアルno.: S090007 | 数量: 1 | 設備詳細: 低温プラズマ活性化システム | 装置: 低温プラズマ活性化システム | 記述: ウェハ50-200、100-300mm
スウォン市, 南韓国
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シリアルno.: S090007 | 数量: 1 | 設備詳細: 低温プラズマ活性化システム | 装置: 低温プラズマ活性化システム | 記述: ウェハ50-200、100-300mm