 - アルバック、エンバイロ2、マイクロ波アッシャー- メーカー: Ulvac
- 型番: Enviro
 - シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 電子レンジ | 装置: 電子レンジ | 記述: ウェハ 100~300mm スウォン市, 南韓国
 - 2012 プラズマサーム、バーサリン、ICP-RIEエッチャー- メーカー: Plasma-Therm
- 型番: VERSALINE
 - シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICP-RIEエッチャー | 装置: ICP-RIEエッチャー | 記述: ウエハ 200mm(最大) スウォン市, 南韓国
 - 2013年 オックスフォード、プラズマラボ100-ICP380、ICPエッチャー- メーカー: Oxford
 - シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A スウォン市, 南韓国
 - 2013年 オックスフォード、プラズマラボICP380-PLASMALAB100、ICPエッチャー+PECVD- メーカー: Oxford
 - シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー+PECVD | 装置: ICPエッチャー+PECVD | 記述: N/A スウォン市, 南韓国
 - 2010年トップENG、LX-380、ICPエッチャー- メーカー: Top Eng
 - シリアルno.: MC-1005-303 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A スウォン市, 南韓国
 - TEL、TE-8500P、エッチャー- メーカー: Tokyo Electron - TEL
 - シリアルno.: K85023 | 数量: 1 | 設備詳細: エッチャー | 装置: エッチャー | 記述: ウエハー6インチ スウォン市, 南韓国
 大韓民国 大韓民国
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