Building Filters

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中古 Cleanroom Equipment 場所 日本

概要

半導体向けクリーンルーム機器には、空調装置、HEPA/ULPAフィルター、ラミナーフローベンチ、粒子計、ガウンステーション、溶剤管理システムなどが含まれます。これらは粒子、湿度、温度、汚染経路を制御し、製造・検査で要求される厳格なISOクラスを満たします。購入者は性能証明と保守履歴、既存設備との適合性を重視します。

よくあるご質問

中古のクリーンルーム機器を購入する際の確認点は?

HEPA/ULPAの性能証明、保守・校正記録、フィルター交換履歴、部品の摩耗状況を確認してください。材質の適合性、電気規格、目的のISOクラス準拠も確認しましょう。

クリーンルーム機器はどうやって安全に輸送する?

密封された清浄な梱包、乾燥剤、振動・衝撃対策を施します。粒子対策が必要な機器は隔離輸送と清浄度の書類管理が望ましく、実績のある運送業者を使い保険を掛けてください。

システムを準拠状態に保つ日常的なメンテナンスは?

定期的なフィルター点検・交換、風量と差圧の確認、粒子計の校正、シール類の点検を行ってください。保守記録と再認証テストを残すことが重要です。