Building Filters

HGTECH欠陥検出シリーズ 半導体基板欠陥検出装置
- メーカー: Hgtech
アイテム: 主なパラメータ | 一般パラメーター: ウェーハサイズ;標準4インチ、6インチ(拡張可能4インチ~8インチ) | 箱数: ダブルデッキ、14個 | 荷役方法: ロボット、マッピングスキャン | モーション・プラットフォーム: Yストローク350mm、繰り返し精度10μm Zストローク8mm、繰り返し精度5μm | 容量: 4インチ、140wph 6インチ、120wph | 検出性能: 試験精度;7μm | カ...
武漢市, 中国
