工程: エッチャー | インチ: 8
工程: エッチャー | インチ: 2~6 | 備考欄: 故障有
工程: 成膜 | インチ: 角基板 | 備考欄: 通常使用
工程: 成膜 | インチ: 6
工程: 成膜 | インチ: 3 | 備考欄: 新古品
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: リファブ装置
工程: フォトリソ | インチ: 8