中古イオン注入販売中

概要

イオン注入装置は、半導体ウェハにドーパントを導入するためにイオンを加速して打ち込む高精度の装置です。用量、エネルギー、均一性を厳密に制御でき、研究用から高生産性ライン用まで種類があります。ビームライン、真空システム、イオン源、高電圧装置、制御ソフトが主要構成要素です。

ビームラインの状態、真空保持、イオン源の寿命、高電圧部品、保守記録、ソフトウェア版、消耗部品の交換履歴を確認してください。

十分な電源（高電圧接地含む）、冷却（チラーやグリコール）、安定した圧縮ガス、排気処理、クリーンルームアクセス、床荷重と作業スペースを確保してください。

半導体装置に慣れた専門の輸送業者を使い、分解・梱包・衝撃監視・クリーン搬送手順・現地据付を計画してください。国際輸送なら通関も考慮。

機械・ユーティリティ接続、真空とリークチェック、高電圧の条件付け、ビーム調整、プロセスレシピ移行、電気・放射線安全の確認が必要です。

真空ポンプの点検・整備、イオン源の交換・清掃、ビームライン調整、高電圧絶縁体の点検、フィルターやガスラインの交換、ソフトのバックアップを行います。

メーカーとモデルによります。イオン源や電源、ポンプなど重要部品の供給状況を確認し、メンテ契約や第三者サービスを検討してください。