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化学気相成長 (Cvd)
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2010 SAMCO PD-3800L
メーカー:
Samco
型番:
PD-3800L
工程: 成膜 | インチ: 3 | 備考欄: 2台 3インチ×13枚トレイ
東京都, 日本
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WATKINS JOHNSON WJ-999R
メーカー:
Watkins-Johnson
型番:
WJ-999R
工程: 成膜 | インチ: 6 | 備考欄: リファブ装置
東京都, 日本
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GaSonics L3510/A3010
メーカー:
GaSonics
工程: 成膜
東京都, 日本
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