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ペアー・スパッタリング（pvd）120 kwパワーユニット #3109

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出力電力: 120 kW | 入力電圧: 480VAC、3相 | 出力電圧: 0-1200 VDC | 出力電流: 0-1000 ADC | 力率: 0.97 | 全体寸法: 1220mm×850mm×2300mm（高さ）。 | 重量: 1100キロ。 | 保護機能: 短絡、過負荷、過電圧