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中古 プローブステーション 場所 日本

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概要

プローブステーションは、半導体ウェーハやチップ、パッケージ品に対して微小プローブを精密に位置決めし電気特性を測定するための高精度プラットフォームです。安定した作業面、温調チャック、真空保持、顕微鏡統合などを備え、手動式から自動マルチサイトまで多様な機種があります。パラメータアナライザやオシロスコープ、プローブカードと接続して使用します。

よくあるご質問

中古のプローブステーションを購入する際のチェックポイントは？

ステージの動作、顕微鏡の光学系、プローブの整列、チャックの平坦性、真空の保持、コントローラの機能を確認してください。保守履歴、プローブカード互換性、ソフトウェア版、校正証明書の有無を確認しましょう。

プローブステーションを安全に輸送するには？

顕微鏡やステージ、精密電子機器を内部緩衝した気候制御可能な頑丈な梱包で輸送してください。プローブは取り外し、可動軸は固定し、消耗品は別梱包にします。研究機器輸送に慣れた業者を使い、保険とシリアル番号の記録を忘れずに。

日常的な保守と校正は何が必要ですか？

光学系やプローブの清掃、真空シールの点検、ガイドの潤滑をマニュアル通り行い、軸を定期的に動作させます。ステージの平坦性や位置精度、温調チャックの温度精度は定期校正を実施し、ソフトウェア更新と消耗部品の交換を行ってください。