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デバイスの状態: Working
工程: エッチャー | インチ: 6 | 備考欄: 6 tanks
工程: 洗浄 | インチ: 6 | 備考欄: HF
工程: 洗浄 | インチ: 6 | 備考欄: LD, ACT, MET, QDR, FR, IPA/VD, ULD
ウエハサイズ: 12" | 出荷: EXW