中古 【中古品】コクサン 半自動型スピンドライヤ― H890A-900H 場所 福岡市, 福岡県, 日本
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仕様
- 状態
- 中古
- 在庫番号
- 12382
- 回転数
- 1速 可変 0～800rpm（設定値200rpm）
- 加速時間
- 0～600rpm 30秒以内
- 減速時間
- 600～0rpm 60秒以内
- タイマ1
- 1速用 可変 0～999秒（最小設定値1秒）
- タイマ2
- 2速用 可変 0～999秒（最小設定値1秒）
- 使用キャリヤ
- CR-200G-01LF
- クレードル
- SUS304（バフ研磨処理）
- クレードル上下機構
- 前後2ヶ所のクレードルを自動で起こします。
- 電源
- 本体 3φ AC200V 50／60Hz 30A
- 駆動エアー
- 0.5Mpa（5kg／cm2）15N1／min
- 排気量
- 8Nm3／min
- 外寸
- W900×D900(1128)×H1000mm
- 重量
- 約400kg
- カテゴリー
- 半導体製造装置
- サブカテゴリ―
- ウエハ製造（前工程）
- リスティングID
- 102947859
説明
【機器ステータス】取扱説明書あり※キャリア形式が同じでも、ロット違いなどで、キャリア形状が異なる場合があります。必ず同形状、同重量のキャリアを使用してください。
2速 可変 0～800rpm（設定値200rpm）
インバータによる2段変速制御
設定変更は、インバータの操作パネルによります。
KM-822-A1
A182-60M
CR200G-01LF用 2個
A182-60M用 2個
エアシリンダにより駆動
収納キャリア変更の場合は、ロータ止めサラボルトを取り
ロータを90°回転させてください。
温風発生器 3φ AC200V 50／60Hz 30A
（蓋上面まで1285mm 蓋開時1830mm）
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