中古 【中古品】サムコ プラズマ洗浄機 PXA-100KM 場所 福岡市, 福岡県, 日本
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仕様
- 状態
- 中古
- 在庫番号
- 11421
- ○反応室
- 約W350×D260×H100mm ビューポート(φ20mm)を反応室正面に設置
- ○搬送方式
- 搬送機構なし ワーク類は、作業者による手載せ設置
- ○電極構造
- RIE方式
- 上部電極
- グランド電極(アノード電極)
- 下部電極
- パワード電極(カソード電極)
- ○高周波電源
- 13.56MHz 水晶発振 ソリッドステート式 MAX 1KW
- ○マッチング方式
- フルオートマッチング方式
- ○排気系
- 1670L/min
- ○制御系
- シーケンスコントローラ(オムロン製)
- ○操作系
- タッチパネル操作
- 圧縮空気
- 0.5～0.7Mpa
- パージガス
- N2 0.2MPa 流量:30L/min
- プロセスガス
- O2 0.1Mpa Ar 0.1MPa
- 冷却水（チャンバー）
- 0.1～0.2MPa 流量:30L/min
- 冷却水（真空ポンプ）
- 流量:1.5～3,0L/min
- ○電 源
- 3φ AC200V 60Hz 5KVA
- ○外 寸
- 本 体:約W1380×D820×H2050mm(突起部含まず、Hはシグナルタワー含む)
- カテゴリー
- 真空機器
- サブカテゴリ―
- その他検査機器
- サブカテゴリ― 2
- 半導体製造装置
- サブカテゴリ― 3
- その他真空機器
- サブカテゴリ― 4
- 電子部品製造装置
- サブカテゴリ― 5
- ウエハ製造（前工程）
- サブカテゴリ― 6
- 工業検査機器（電子・金属）
- リスティングID
- 102948601