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量産部品の超精密加工に対応 最小設定単位0.01μm ●生産形超精密加工に対応 ●寸法精度6σ= 0.5μm(真鍮) ●コールドスタートと加工中断時の寸法変化が極小
●チャックとスピンドルを一体化し高速加工を実現 ●微小テーパ加工や高精度輪郭加工が可能
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