中古 1995年 AMAT、P5000、PECVD（2チャンバー） 場所 スウォン市, 京畿道, 南韓国
中古
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仕様
- 状態
- 中古
- 年
- 1995
- シリアル番号
- 4267
- 在庫番号
- 199240075
- シリアルno.
- 4267
- 数量
- 1
- 設備詳細
- PECVD
- 装置
- PECVD
- カテゴリー
- 化学気相成長 (CVD) 場所 南韓国
- サブカテゴリ―
- 機械
- サブカテゴリ― 2
- 半導体
- リスティングID
- 99236057
説明
2チャンバー(ガス SiH4, N20, PH3/Ar, B2H6, O2, CF4, GaH4)
- 設計l：2チャンバー（ガスSiH4、N20、PH3/Ar、B2H6、O2、CF4、GaH4）
- 状態：現状
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