新品 YAC DAStech DFS1100 場所 さいたま市, 埼玉県, 日本
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仕様
- 状態
- 新品
- 概要 ワーク最大径 フレームタイプ カセットタイプ 2-8-1、最大25スロット
- (mm); φ200 2-8-1 2-8-1用 最大25スロット
- Y軸ストローク移動量指令部 最大送り速度指令部 軸駆動系 駆動源 軸制御系
- (mm) (mm) (mm/sec) (mm/sec); 200 0.001 50 0.001 モータ軸でボールねじを回転させ、X 軸 AC サーボモータを駆動 マグネスケールによる閉ループ制御
- Z 軸ストローク移動量 指令単位 最高回転速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源
- (mm) (mm) (mm/sec) (mm/sec); 85 0.001 20 0.001 ボールねじをモータ軸で回転させ、X 軸 AC サーボモータを駆動する。
- W軸ストローク移動量 指令単位 最高回転速度 速度指令単位 軸駆動方式 駆動源
- (°) (°) (°/s) (°/s); 110（-10 - +100）0.001 90 0.001 DDモーターで直接回転駆動 ダイレクトドライブモーター
- スピンドル形式 回転速度範囲 回転速度制御方式 モータースピンドル先端寸法 安全インターロック
- (min-1) (kw); モータ内蔵エアスピンドル 10,000 - 15,000 スピンドルインバータ 3.7 2P 最大テーパ径 φ36、テーパ 1/10 1.防水カバーが開くとスピンドル回転が停止します。2.防水カバーが開いた状態ではスピンドルは回転しません。
- アライメントタイプ マイクロ：セルサイズ マイクロ：視野サイズ マクロ：セルサイズ マクロ：視野サイズ 作業距離 照明
- (μm)(mm)(μm)(mm)(mm); マイクロ・マクロ切替 2.1(左右)×2.45(前後) 1.58(左右)×1.19(前後) 16.8(左右)×19.6(前後) 12.6(左右)×9.51(前後) 150 LED光源による同軸照明
- トランスポート・セクション 対応カセット数 リターン・タイプ カセット交換方法
- DTC2-8J相当 2セット 同じスロットに戻す 割り込みで停止（カセットエレベータ動作中は割り込み無効）
- 洗浄 洗浄方法 テーブル回転数 ワーククランプ方法 回転数と時間の指示
- (min-1)、2 液 最大 3,000 バキュームと振り子によるフレームクランプ ワーククランプ方式 プログラムによるオプション設定
- セットアップ 検出方法 設置場所
- 光ファイバーセンサー X軸スライダー上
- 刃折れ検知器 検知方法 設置場所
- 光ファイバーセンサー ブレードカバー内部
- 自動ドレッシングドレッサーサイズコマンドシステム
- (mm)；155(長さ)×50(幅)×10(厚さ) プログラム
- 精度 1．チャックテーブル上面精度 2．
- (mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm)(mm); X 軸真直方向のヨーイング ピッチング 累積誤差 繰返し精度 累積誤差 スピンドル半径方向の振れ; 0.02/200 x 200 0.01/300 0.01/300 ±0.005/200 ±0.002 ±0.005/85 ±0.002 0.002
- 工作物の最大厚さ
- 15 mm
- カテゴリー
- 加工 場所 日本
- サブカテゴリ―
- 機械
- サブカテゴリ― 2
- 全自動スライサー
- サブカテゴリ― 3
- 切断機ラインナップ
- リスティングID
- 99529504
説明
切断機ラインナップ
全自動スライサー
DFS1100
ガラス・金属・セラミックなどの厚物切断を高精度・高安定性で確実に。
ワークのセットから切断、洗浄まで全自動。
特長
1.外径4インチブレード使用
2.直結ハイパワーモーターのエアスピンドル搭載
3.複合材料の切断が可能！
4.高剛性・堅牢な鋳鉄製ベースボディ
5.シングルおよびマルチギャングブレードを使用
適合材料
■
形状
適合製品
セラミックスパッケージ基板
フォトマスク
タイプ
*厚物切断に最適
厚いワークの切断に適しています。
構造上のメリット
カセットを収納するローダー
アンローダ、ウェハを各ユニットに搬送するロボットアーム
ホイールカバー、ブレード破損検出装置
チャックテーブル、ドレッシングサブテーブル、非接触セットアップセンサー
加工後のウェーハを洗浄するスピナークリーナ
タッチパネル。多彩なオートアライメント機能
高アスペクト比カット
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