2010年 ASM、アイホーク、ワイヤーボンダー-2
- メーカー: ASM
- 型番: IHAWK
シリアルno.: IH27-067 | 数量: 1 | 設備詳細: ワイヤーボンダー | 装置: ワイヤーボンダー | 記述: 広い接着面積56x70mm、L/F幅80mm
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ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150x150~1500x1500um、ウェハ6"~8"
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2013年 ミダスシステム、MDA-400S-E、マスクアライナー
- メーカー: Midas System
シリアルno.: 13167 | 数量: 1 | 設備詳細: マスクアライナー | 装置: マスクアライナー | 記述: マスクサイズ 7インチまで
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2016 Bright Lux Automation 佑光, DB8080WF, ダイボンダー
- メーカー: Bright Lux Automation 佑光
シリアルno.: DB8080-12-002 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: Windows XP、ウエハ3.5x3.5mil～100x100mil
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2008 PVA TePla、300semiauto、プラズマシステム
- メーカー: TePla
- 型番: 300
シリアルno.: 1581 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマシステム | 装置: プラズマシステム | 記述: ウェハ 200mm
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TEL(東京エレクトロン株式会社) Clean Track Mark7 PR TRACK Working
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
メーカー: TEL(東京エレクトロン株式会社) | 装置: PRトラック | 状態: ワーキング | ビンテージ: 2003.03 | モデル: クリーントラックMark7
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2009年 プライムラミ、P-720、ロールラミネーター
- メーカー: PRIME LAMI
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ロールラミネーター | 装置: ロールラミネーター | 記述: ラミ厚2.5mm、速度4m/min
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MKS、P99A-28229、圧力コントローラ
- メーカー: MKS
シリアルno.: 10XX09 | 数量: 1 | 設備詳細: 圧力コントローラー | 装置: 圧力コントローラー | 記述: ガスN2、レンジ1000SCCM、1000Torr
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2003年 NIKON、OPTIPHOT-300D、検査顕微鏡
- メーカー: Nikon
- 型番: Optiphot 300
シリアルno.: 625331 | 数量: 1 | 設備詳細: 検査顕微鏡 | 装置: 検査顕微鏡 | 記述: 14x10ステージ、ウェハ12インチ、100～120V、3A、50/60Hz
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Genesis、631-1300、真空クライオコンプレッサ
- メーカー: Genesis
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 真空低温コンプレッサー | 装置: 真空低温コンプレッサー | 記述: N/A
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2003年 ニコン OPTIPHOT-300D 検査顕微鏡
- メーカー: Nikon
- 型番: Optiphot 300
シリアルno.: 625331 | 数量: 1 | 設備詳細: 検査顕微鏡 | 装置: 検査顕微鏡 | 記述: 14x10ステージ、ウェハ12インチ、100～120V、3A、50/60Hz
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EXSO、EX-930、REWORKステーション
- メーカー: EXSO
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: REWORKステーション | 装置: REWORKステーション | 記述: 風量23L/分、寸法187x135x245mm
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