
TEL、Mark-Vz、コーターデベロッパー
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: 523787 | 数量: 1 | 設備詳細: コーター開発者 | 装置: コーター&デベロッパー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2009 Diener Electronic、FEMTO、プラズマシステム
- メーカー: Diener Electronic
シリアルno.: 80452 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマシステム | 装置: プラズマシステム | 記述: チャンバー容量 2~3 リットル
スウォン市, 南韓国
2021 KLA、AFS-3220、平坦度測定
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: AMS101 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
日立、S-3000H、SEM(走査型電子顕微鏡)
- メーカー: Hitachi
- 型番: S-3000H
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: SEM(走査型電子顕微鏡) | 装置: SEM(走査型電子顕微鏡)
スウォン市, 南韓国
2012ディスコ、DFL7160、レーザースクライバー
- メーカー: Disco
- 型番: DFL7160
シリアルno.: KA1333 | 数量: 1 | 設備詳細: レーザースクライバー | 装置: レーザースクライバー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
1999 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2004 ADE、Ultrascan9300、ウェハー・ソーター
- メーカー: ADE
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハーソーター | 装置: ウェハーソーター | 記述: Wafer200mm
スウォン市, 南韓国
2014 エコー技研、PCS-FCS、ウエハ450mm
- メーカー: Echo Giken
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PCS-FCS(プロセス制御システム-工場制御システム) | 記述: número de ejes
スウォン市, 南韓国
ラムリサーチ、Rainbow4420、プラズマクリーナー
- メーカー: Lam Research - Novellus
- 型番: RAINBOW 4420
シリアルno.: 1012001 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマクリーナー | 装置: プラズマクリーナー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
KLA TENCOR, P-10, 表面形状測定器 (Windows DOS)
- メーカー: KLA-Tencor
- 型番: P-10
シリアルno.: 03970318 | 数量: 1 | 設備詳細: 表面形状測定器(Windows DOS) | 装置: 表面形状計 | 記述: ウィンドウズDOS
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
スウォン市, 南韓国
1999 KLA、AFS-3220、平面度測定機
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: AMS069 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度測定 | 装置: 平坦度測定 | 記述: ウエハ300mm、スキャン厚:精度0.25μm
スウォン市, 南韓国
2013 KLA, PHXDF5.0, Wafersight3
- メーカー: KLA-Tencor
シリアルno.: 48130711333 | 数量: 1 | 設備詳細: Wafersight3 | 装置: Wafersight3 | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国

