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2021 Typhoon HIL TYP-HIL404-CP

機器名称: パワエレコントローラ用デバッグツール

Typhoon HIL TYP-HIL404-CP

アルバック Ulvac GI-M2

• メーカー: Ulvac

機器名称: イオンゲージ

ファイファー Pfeiffer PKR251

• メーカー: Pfeiffer

機器名称: コールドカソード

その他 トランスファーロッド

機器名称: トランスファーロッド

アネルバ ANELVA BRG-1B

• メーカー: Anelva

機器名称: 真空ゲージ

Vat 10844-CE44-0005/0322

機器名称: ゲートバルブ

アルバック Ulvac GP-1000

• メーカー: Ulvac
• 型番: GP-1000

機器名称: ピラニーゲージ | 備考: プラズマクリーナーで使用されていた

インフィコン PSG400

機器名称: ピラニーゲージ

インフィコン PSG400

機器名称: ピラニーゲージ

フジテクノロジー 1041021

機器名称: バタフライバルブ

アネルバ ANELVA フローコントローラー

• メーカー: Anelva

機器名称: フローコントローラー

アネルバ ANELVA フローコントローラー

• メーカー: Anelva

機器名称: フローコントローラー

その他 ATCP600

機器名称: チューニングコントローラー

アステック ASTECH DC-10P

• メーカー: Astech

機器名称: チューニングコントローラー