シリアルno.: SP0906 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー
プロセス: HDPECVD | チェンバー: 2 C/H | 出荷: EXW
ウエハサイズ: 12" | プロセス: プラズマ・ベベル・エッチ | チェンバー: 3C/H
ウエハサイズ: 12" | プロセス: ポリ | チェンバー: 4C/H | 出荷: EXW