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中古 欠陥検査

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概要

半導体の計測・検査における欠陥検査は、ウェハー、マスク、パッケージ上の欠陥を検出・分類・定量化するシステムとプロセスを指します。光学式、電子線式、散乱検出などの装置が欠陥の大きさ・密度・位置を計測し、歩留まり向上や原因解析に寄与します。機器はクリーンルーム・振動・ESD対策を満たし、画像処理やデータ解析を組み合わせることが一般的です。

よくあるご質問

中古の欠陥検査装置を買うときに確認すべきことは？

検出器や光学系の状態、解像度と感度、対応ウェハーサイズ、ソフト／ファームウェアのバージョン、保守・校正履歴、部品供給やサービス体制を確認してください。

検査装置を安全に輸送するにはどうすればいいですか？

温度管理と振動緩和された輸送、専用梱包、ESD対策、衝撃モニターを使用してください。分解・再組立はベンダーや認定技術者と調整し、保険をかけましょう。

どのような保守・校正が必要ですか？

日常的な光学系と清掃チェック、真空やポンプの監視（該当する場合）、定期的なソフトバックアップを行い、年次でOEMや認定ラボによる校正と消耗品交換を実施してください。