中古 Semitool ウェーハスピンリンスドライヤー（SRD）販売中場所南韓国

概要

スピンリンスドライヤー（SRD）は、湿式洗浄後の部品を迅速に洗浄・乾燥するための小型高効率装置です。部品を回転させながらDI水や溶剤を噴射し、高速回転や加熱・真空乾燥で残液や粒子を除去します。半導体、医療、精密加工など、短時間で再現性の高い無塵乾燥が求められる工程で使われます。

ローターやチャックの損傷、シール・ベアリングの状態、モーター稼働時間を確認してください。制御系、サイクル設定、配管やドレンの点検、腐食や汚染の有無、保守記録と部品供給を確認しましょう。

液体は完全に抜き、回転部を固定してセンサー類を保護します。パレット梱包や木箱で固定し、内部支持を入れて揺れを防ぎます。ラボ機器に慣れた輸送業者を使い、保険や溶剤に関する書類を用意してください。

チャンバーとノズルの清掃、シール・フィルターの交換、ベアリングやモータ結合部の点検、真空系や加熱系の整備を行ってください。センサーや制御の校正を定期的に実施しましょう。