2014 黒田, CKD208-AN01, 平坦度 評価用
- メーカー: Kuroda
シリアルno.: HT21126001 | 数量: 1 | 設備詳細: 平坦度 評価用 | 装置: 平坦度 評価用 | 記述: ウェハ450mm
スウォン市, 南韓国
2004 Wacco、AVIS-B-10、自動外観検査システム
- メーカー: Wacco
シリアルno.: N/A | 数量: 8 | 設備詳細: 自動外観検査システム | 装置: 自動外観検査システム | 記述: ウェハ 300mm
スウォン市, 南韓国
2002 SAITO SEIKI, SMG-XN-812-0128, インゴットグラインダー
- メーカー: SMG
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: インゴットグラインダー | 装置: インゴットグラインダー | 記述: ウェハ 300mm
スウォン市, 南韓国
2008年 浜井、4BF-P、DSP（ダブルサイドポリッシャー）
- メーカー: Hamai
シリアルno.: 2094 | 数量: 1 | 設備詳細: DSP（ダブル・サイド・ポリッシャー） | 装置: DSP（ダブル・サイド・ポリッシャー） | 記述: ウェハ 300mm
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ヨンサンエンジニアリング、DSPスラリーサプライ
- メーカー: Youngsan Engineering
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: DSPスラリー供給 | 装置: DSPスラリー供給 | 記述: ウェハ 300mm
スウォン市, 南韓国
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2008年 JESAGI、JSPCS-750、プラズマクリーナー
- メーカー: JESAGI (
シリアルno.: Y0809-26-HSE-01 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマクリーナー | 装置: プラズマクリーナー | 記述: 寸法600x625x500mm、220V、50/60Hz、5kVA
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マイダスシステム、SPIN-5000A、スピンデベロッパー
- メーカー: MIDAS SYSTEM
シリアルno.: MS0303-SP83-54 | 数量: 1 | 設備詳細: スピン開発者 | 装置: スピン開発者
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2014 SVS, MSX1000, トラック
- メーカー: SVS
シリアルno.: THELEDS06FO3 | 数量: 1 | 設備詳細: トラック | 装置: トラック | 記述: ウェハー・サイズ 4" 6" 8"
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2003 TEL、クリーントラックMark7、PR TRACK
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: PRトラック | 装置: PRトラック | 記述: ウェハ6～8インチ
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