半導体装置 » リソグラフィー（フォトリソグラフィー） » トラックのコーティング/現像 » 埼玉県

Building Filters

1

中古 トラックのコーティング/現像 場所 埼玉県, 日本

概要

コート／デベロップトラックは、フォトリソグラフィのウェットプロセスを自動化する装置で、フォトレジスト塗布、ベーク、現像を連続的に行います。スピンコーター、ベークプレート、現像モジュール、溶剤供給とカセット搬送を一体化し、均一な膜厚と高いスループットを実現します。中古機はカセットサイズや自動化レベル、薬液適合性が異なるため、ウエハサイズや使用レジスト、ファブのインターフェースを確認してください。

よくあるご質問

中古トラックを購入する際のチェックポイントは？

カセット容量、対応ウエハサイズ、薬液使用履歴、保守記録、ポンプやスピナーの状態、取扱説明書やスペアの有無を確認してください。

フォトレジスト使用済み装置の輸送方法は？

認証済みの脱汚染を行い、薬液ラインを排出・パージし、輸送中の固定を徹底し、クリーンルーム汚染証明書を準備してください。

設置に必要なユーティリティは？

一般に、DI水、溶剤排水、窒素やドライエア、適切な電源、排気・換気、場合によっては冷却水や真空ラインが必要です。

定期保守はどの程度必要ですか？

フィルター・ポンプ交換、シールや配管点検、スピナー軸受の確認、ベークプレートの校正、薬液ラインの洗浄を定期的に実施します。

消耗品やスペア部品の入手は容易？

主要なOEM部品や消耗品は納期が長い場合があります。シール、ポンプ部品、スピンチャック、コントローラ等の入手性を事前に確認してください。