2016年ユニット、UFC-1660、マスフローコントローラ（MFC）
- メーカー: United Forms Corp
- 型番: UFC-1660
シリアルno.: A3223001308 | 数量: 1 | 設備詳細: マスフローコントローラ（MFC） | 装置: マスフローコントローラ（MFC） | 記述: ガス：SiH4、レンジ30SCCM
スウォン市, 南韓国
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シリアルno.: A3223001308 | 数量: 1 | 設備詳細: マスフローコントローラ（MFC） | 装置: マスフローコントローラ（MFC） | 記述: ガス：SiH4、レンジ30SCCM