中古 ウェーハ洗浄装置 場所 南韓国

メンテ履歴や薬液使用履歴、ポンプ・シール・バルブ・DI回路の状態、汚染有無、制御ソフトのバージョン、スペア部品の入手性、行われた改造を確認し、処理条件（薬液・ウェハーサイズ）との適合を確かめてください。

薬液を排出・中和してDI回路をフラッシュし、トランスデューサやセンサーなど壊れやすい部品を固定、電子機器を保護し、振動吸収梱包と気候管理輸送を使います。危険物の申告と専門の荷役手配も必要です。

DI水の品質管理、フィルターや薬液配管の定期交換、ポンプやシール点検、メガソニック／プラズマ性能の確認、タンクやウェットベンチの清掃、ソフト更新とログ管理を行い、メーカーの点検周期に従ってください。