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ウェハステッパーは、シリコンウェハーに回路パターンを投影するために使用される半導体製造の精密光学機器です。これらの機械は、フォトリソグラフィプロセスを利用して統合回路の製造において高い精度と効率を確保するために不可欠です。
機械の年齢、稼働時間、メンテナンス履歴、およびアップグレードや改造の有無を確認してください。特定の製造要件を満たしていることを確認し、摩耗や損傷の兆候がないかチェックしてください。
敏感な半導体機器の取り扱いに経験のある専門の輸送サービスを利用してください。ステッパーが適切に梱包され、固定され、輸送中に保険がかけられていることを確認してください。
定期的なメンテナンスには、光学部品の清掃、アライメントの確認、システムのキャリブレーション、ソフトウェアの更新が含まれます。詳細なメンテナンスガイドラインや間隔については、メーカーのマニュアルを参照してください。
