大成、et214、シードエッチャー（エッチステーション）
- メーカー: DAESUNG
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: シードエッチャー（エッチングステーション） | 装置: シードエッチャー（エッチングステーション） | 記述: ウェハ 200mm
スウォン市, 南韓国
2012 プラズマサーム、バーサリン、ICP-RIEエッチャー
- メーカー: Plasma-Therm
- 型番: VERSALINE
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICP-RIEエッチャー | 装置: ICP-RIEエッチャー | 記述: ウエハ 200mm（最大）
スウォン市, 南韓国
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