
1999年 プラズマ、SD2002、エリプソメーター
- メーカー: Plasmos
シリアルno.: 5094.06.94 | 数量: 1 | 設備詳細: ELLIPSOMETER | 装置: ELLIPSOMETER | 記述: ウェハ 300mm | ビデオモニター: 9M200A | 電気物理学: AF-750 顕微鏡オートフォーカスシステム
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2014 GSI, sigmaclean450, ハード・レーザー・マーカー
- メーカー: GSI Lumonics
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ハード・レーザー・マーカー | 装置: ハード・レーザー・マーカー | 記述: ウェハ8インチ
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-57918 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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2009 ASM、アイホーク、ワイヤーボンダー-1
- メーカー: ASM
- 型番: IHAWK
シリアルno.: IH10-056 | 数量: 1 | 設備詳細: ワイヤーボンダー | 装置: ワイヤーボンダー | 記述: 広い接着面積56x70mm、L/F幅80mm
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2010 ROSWIN, SUPER120H, ダイボンダー
- メーカー: ROSWIN
シリアルno.: BS100600152F | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: 金型サイズ 3~150mm
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2005 Kulicke&Soffa、4524、マニュアル・ワイヤーボンダ#2
- メーカー: Kulicke & Soffa
- 型番: 4524
シリアルno.: 700530 | 数量: 1 | 設備詳細: マニュアルワイヤーボンダー | 装置: マニュアルワイヤーボンダー
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セントロテム、E1550、水平炉(LPCVD)
- メーカー: Centrotherm
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 水平炉 | 装置: 水平炉 (LPCVD) | 記述: ウェハ4、6、8インチ | ウエハサイズ: 4インチ、6インチ、8インチ、125Sq、156Sq | 能力: 70枚/バッチ
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2005 Kulicke&Soffa、4524、マニュアル・ワイヤーボンダ#1
- メーカー: Kulicke & Soffa
- 型番: 4524
シリアルno.: 700509 | 数量: 1 | 設備詳細: マニュアルワイヤーボンダー | 装置: マニュアルワイヤーボンダー
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2006年 アシムテック、X-1020、ディスペンサー
- メーカー: Nordson Asymtek
- 型番: X-1020
シリアルno.: X12256 | Per tutta la durata del servizio: 1 | 設備詳細: ディスペンサー | 記述: エンコーダ分解能 5マイクロメートル
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PROTEC、ファンタズム-MS、ディスペンサー
- メーカー: Protec
- 型番: Phantasm
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ディスペンサー | 装置: ディスペンサー | 記述: N/A
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2012 KOH YOUNG, KY-7100, 三次元自動光学検査機
- メーカー: Koh Young
- 型番: KY7100
シリアルno.: AOI-S001 | 数量: 1 | 設備詳細: 3D自動光学検査機 | 装置: 3D自動光学検査機 | 記述: 208VAC、1相、50/60Hz
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Genesis、631-1300、真空クライオコンプレッサ
- メーカー: Genesis
シリアルno.: P0914KJE/P0914KP-OA; KJ4001X1-BA2 | 数量: 1 | 設備詳細: 真空低温コンプレッサー | 装置: 真空低温コンプレッサー | 記述: N/A
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2003年 ニコン OPTIPHOT-300D 検査顕微鏡
- メーカー: Nikon
- 型番: Optiphot 300
シリアルno.: 625331 | 数量: 1 | 設備詳細: 検査顕微鏡 | 装置: 検査顕微鏡 | 記述: 14x10ステージ、ウェハ12インチ、100~120V、3A、50/60Hz
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