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スウォン市, 南韓国
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2009 SUNIC、TENACIER-400VE、ICPエッチャー
- メーカー: SUNIC
シリアルno.: SP0906 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー
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バウンドレスシステム Genius1125、XeF2エッチャー
- メーカー: Boundless system
数量: 1 | 設備詳細: XeF2エッチャ | 装置: XeF2エッチャ | 記述: N/A
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バウンドレスシステム、Genius1125、XeF2エッチャー
- メーカー: Boundless system
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: XeF2エッチャ | 装置: XeF2エッチャ | 記述: N/A
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大成、et214、シードエッチャー（エッチステーション）
- メーカー: DAESUNG
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: シードエッチャー（エッチングステーション） | 装置: シードエッチャー（エッチングステーション） | 記述: ウェハ 200mm
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2008 PVA TePla、300semiauto、プラズマシステム
- メーカー: TePla
- 型番: 300
シリアルno.: 1581 | 数量: 1 | 設備詳細: プラズマシステム | 装置: プラズマシステム | 記述: ウェハ 200mm
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TEL(東京エレクトロン株式会社) Clean Track Mark7 PR TRACK Working
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
メーカー: TEL(東京エレクトロン株式会社) | 装置: PRトラック | 状態: ワーキング | ビンテージ: 2003.03 | モデル: クリーントラックMark7
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2012 プラズマサーム、バーサリン、ICP-RIEエッチャー
- メーカー: Plasma-Therm
- 型番: VERSALINE
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICP-RIEエッチャー | 装置: ICP-RIEエッチャー | 記述: ウエハ 200mm（最大）
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K&S、マクサムプラス、ワイヤーボンダー
- メーカー: Kulicke & Soffa
- 型番: MAXUM PLUS
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ワイヤーボンダー | 装置: ワイヤーボンダー
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1997年 AMAT、P5000、PECVD（3チャンバー）
- メーカー: Amat
- 型番: P5000
シリアルno.: 4420 | 数量: 1 | 設備詳細: PECVD（3チャンバー） | 装置: PECVD | 記述: 3チャンバー（ガスO2、CF4、SiH4、GeH4、N20、N2）
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2010年 ASM、AD830、ダイボンダー
- メーカー: ASM
- 型番: AD830
シリアルno.: AD830-04312-2799 | 数量: 1 | 設備詳細: ダイボンダー | 装置: ダイボンダー | 記述: ダイサイズ150X150~1500X1500um、ウェハ6"~8"
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2014渋谷、DB250、フリップチップボンダー
- メーカー: Shibuya
シリアルno.: CAL1152 | 数量: 1 | 設備詳細: フリップチップボンダ | 装置: フリップチップボンダ | 記述: 240x100mm、ウェハ12インチ
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新川、SPA-300、ICダイボンダー
- メーカー: Shinkawa
- 型番: SPA-300
シリアルno.: C4-55152 | 数量: 1 | 設備詳細: ICダイボンダー | 装置: ICダイボンダー | 記述: N/A
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