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2015 EVG, EVG510, ウェハー・ボンダー
- メーカー: EVG
- 型番: 510
シリアルno.: S170132 | 数量: 1 | 設備詳細: ウェハー・ボンダー | 装置: ウェハー・ボンダー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2010年 ミダスシステム、MDA-400M、マニュアルマスクアライナー
- メーカー: Midas System
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: 手動マスクアライナー | 装置: 手動マスクアライナー | 記述: 4インチまでのサブステアサイズ
スウォン市, 南韓国
2011年 タイニックス、TE3100、ICPエッチャー
- メーカー: Tainics
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: ノーマルGaNエッチング、ハイGaNエッチング、PSSエッチング
スウォン市, 南韓国
2011年 タイニックス、TE3100、ICPエッチャー
- メーカー: Tainics
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: ノーマルGaNエッチング、ハイGaNエッチング、PSSエッチング
スウォン市, 南韓国
2013年 オックスフォード、プラズマラボ100-ICP380、ICPエッチャー
- メーカー: Oxford
シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2013年 オックスフォード、プラズマラボICP380-PLASMALAB100、ICPエッチャー+PECVD
- メーカー: Oxford
シリアルno.: 94-515033 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー+PECVD | 装置: ICPエッチャー+PECVD | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
2010年トップENG、LX-380、ICPエッチャー
- メーカー: Top Eng
シリアルno.: MC-1005-303 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: N/A
スウォン市, 南韓国
TEL、TE-8500P、エッチャー
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: K85023 | 数量: 1 | 設備詳細: エッチャー | 装置: エッチャー | 記述: ウエハー6インチ
スウォン市, 南韓国
2014 ニコン, NES1V-h04, ミニステッパー
- メーカー: Nikon
- 型番: NES1-h04
シリアルno.: 1400101 | 数量: 1 | 設備詳細: ミニステッパー | 装置: ミニステッパー
スウォン市, 南韓国
TEL、TE-8500P、エッチャー
- メーカー: Tokyo Electron - TEL
シリアルno.: K85025 | 数量: 1 | 設備詳細: エッチャー | 装置: エッチャー | 記述: ウエハー6インチ
スウォン市, 南韓国
2011年 ミダスシステム、MDA-60MS、マスクアライナー
- メーカー: Midas System
シリアルno.: 11527/12077 | 数量: 2 | 設備詳細: マスクアライナー | 装置: マスクアライナー | 記述: マスクサイズ 最大7 "x7"
スウォン市, 南韓国
1999年 プラズマ、SD2002、エリプソメーター
- メーカー: Plasmos
シリアルno.: 5094.06.94 | 数量: 1 | 設備詳細: ELLIPSOMETER | 装置: ELLIPSOMETER | 記述: ウェハ 300mm | ビデオモニター: 9M200A | 電気物理学: AF-750 顕微鏡オートフォーカスシステム
スウォン市, 南韓国
2014 GSI, sigmaclean450, ハード・レーザー・マーカー
- メーカー: GSI Lumonics
シリアルno.: N/A | 数量: 1 | 設備詳細: ハード・レーザー・マーカー | 装置: ハード・レーザー・マーカー | 記述: ウェハ8インチ
スウォン市, 南韓国
2015年 ギガレーン、MAXIS-300Lah、ICPエッチャー
- メーカー: Gigalane
シリアルno.: M1108-022-01 | 数量: 1 | 設備詳細: ICPエッチャー | 装置: ICPエッチャー | 記述: 最大6インチウエハ
スウォン市, 南韓国
GATAN、GATAN 682、PECSエッチャー
- メーカー: Gatan
シリアルno.: 06062701 | 数量: 1 | 設備詳細: PECSエッチャー | 装置: PECSエッチャー | 記述: 240V、50Hz
スウォン市, 南韓国
